Ninu ilana CMP, awọn ọja ti o ni iwọn iwọn patiku nla yẹ ki o wa ni filtered, awọn patikulu efiective yẹ ki o wa ni idaduro fun lilọ ati awọn patikulu iwọn iarge ti o le scatchthe dada yẹ ki o yọkuro.Ln wiwo ti iṣẹ idawọle patiku ti o muna ti mojuto fiter, bi ọpọlọpọ awọn patikulu eflective yẹ ki o tu silẹ bi o ti ṣee ṣe lati gba awọn patikulu iwọn nla.
