Hệ thống nhà máy cần cung cấp nguồn cung cấp ổn định hóa chất sạch, nước siêu tinh khiết và khí xử lý sạch trong toàn bộ FAB.Điều này đặt ra các yêu cầu cao đối với tính ổn định và tính nhất quán của thành phần bộ lọc được sử dụng trong mỗi phần.Hàng Châu loại phần tử lọc lưu lượng lớn, phần tử lọc an ninh, phần tử lọc gấp chính xác cao và loạt phần tử lọc perfluorinated cung cấp dịch vụ lọc ổn định cho hệ thống quản lý nhà máy
