Trong quy trình CMP, các sản phẩm có phạm vi kích thước hạt lớn phải được lọc, các hạt hiệu quả phải được giữ lại để nghiền và các hạt có kích thước lớn có thể làm trầy xước bề mặt phải được loại bỏ.Xét về hiệu suất chặn hạt nghiêm ngặt của lõi phù hợp hơn, vì nhiều hạt hiệu quả sẽ được giải phóng càng nhiều càng tốt để có thể chặn các hạt kích thước lớn một cách hiệu quả.
