mikroelektronika

CMP filtri

CMP jarayonida katta zarracha o'lchamiga ega mahsulotlar filtrlanishi kerak, silliqlash uchun samarali zarrachalar saqlanishi va sirtni chizish mumkin bo'lgan katta hajmdagi zarrachalarni olib tashlash kerak.Katta o'lchamdagi zarrachalarni tutib olish uchun imkon qadar ko'p effektli zarrachalar chiqarilishi kerak bo'lgan yadroning qattiq zarrachalarni ushlab turish qobiliyatini hisobga olgan holda.