Система заводу повинна забезпечувати стабільне постачання чистих хімічних речовин, надчистої води та чистих технологічних газів у всьому FAB.Це висуває високі вимоги до стабільності та узгодженості фільтруючого елемента, який використовується в кожній секції.Ханчжоу типу фільтруючого елемента великого потоку, фільтруючого елемента безпеки, високоточного складного фільтруючого елемента та серії перфторованих фільтруючих елементів забезпечує стабільну службу фільтрації для системи управління заводом
