У процесі CMP продукти з великим діапазоном розмірів частинок слід фільтрувати, ефективні частинки слід зберігати для подрібнення, а частинки великого розміру, які можуть пошкодити поверхню, слід видалити.З огляду на суворе перехоплення частинок серцевиною фільтра, необхідно вивільнити якомога більше ефективних частинок для ефективного перехоплення частинок великого розміру.
