microelectronics

CMP Filter

Sa proseso ng CMP, ang mga produkto na may malaking hanay ng laki ng butil ay dapat na i-filter, ang mga epektibong particle ay dapat mapanatili para sa paggiling at ang laki ng mga particle na maaaring kumalat sa ibabaw ay dapat na alisin.Sa pagtingin sa mahigpit na pagganap ng pagharang ng butil ng fiter core, dahil maraming mga eflective na particle ang dapat ilabas hangga't posible upang maharang ng kahusayan ang malalaking sukat na mga particle.