ในกระบวนการ CMP ควรกรองผลิตภัณฑ์ที่มีขนาดอนุภาคขนาดใหญ่ ควรเก็บอนุภาคที่มีประสิทธิภาพไว้สำหรับการเจียร และควรกำจัดอนุภาคขนาด iarge ที่อาจขูดขีดพื้นผิวออกมุมมองของประสิทธิภาพการสกัดกั้นอนุภาคที่เข้มงวดของแกนกลางที่พอดีกว่า เนื่องจากควรปล่อยอนุภาคสะท้อนจำนวนมากเท่าที่เป็นไปได้เพื่อสกัดกั้นอนุภาคขนาดใหญ่ได้อย่างมีประสิทธิภาพ
