CMP ప్రక్రియలో, పెద్ద కణ పరిమాణ పరిధి కలిగిన ఉత్పత్తులను ఫిల్టర్ చేయాలి, గ్రైండింగ్ కోసం ప్రభావవంతమైన కణాలను అలాగే ఉంచాలి మరియు ఉపరితలంపై స్కాచ్ చేసే పెద్ద పరిమాణంలోని కణాలను తొలగించాలి.ఫిటర్ కోర్ యొక్క కఠినమైన పార్టికల్ ఇంటర్సెప్షన్ పనితీరును దృష్టిలో ఉంచుకుని, పెద్ద-పరిమాణ కణాలను ఎలిసియంటీ అంతరాయం కలిగించే విధంగా అనేక ప్రభావవంతమైన కణాలు విడుదల చేయబడాలి.
