CMP செயல்பாட்டில், பெரிய துகள் அளவு வரம்பைக் கொண்ட தயாரிப்புகள் வடிகட்டப்பட வேண்டும், திறமையான துகள்களை அரைக்கத் தக்கவைக்க வேண்டும் மற்றும் மேற்பரப்பைக் கவரும் அளவு துகள்கள் அகற்றப்பட வேண்டும்.ஃபிட்டர் மையத்தின் கண்டிப்பான துகள் இடைமறிப்பு செயல்திறனின் பார்வையில், பெரிய அளவிலான துகள்களை எலிசியன்ட்டி இடைமறிக்க முடிந்தவரை பல பயனுள்ள துகள்கள் வெளியிடப்பட வேண்டும்.
