I CMP-processen bör produkter med stort partikelstorleksintervall filtreras, effektiva partiklar bör behållas för slipning och stora partiklar som kan repa ytan bör avlägsnas.Med tanke på den stränga partikeluppfångningsprestandan hos fitterkärnan, bör så många effektiva partiklar frigöras som möjligt för att på ett effektivt sätt fånga upp stora partiklar.
