Dina prosés CMP, produk kalawan rentang ukuran partikel badag kudu disaring, partikel éféktif kudu dipikagaduh pikeun grinding sarta partikel ukuran-ukuran nu bisa scatchthe beungeut kudu dihapus.Dina panempoan kinerja interception partikel ketat inti fiter, saloba partikel eflective kudu dileupaskeun salaku mungkin mun elicienty intercept partikel badag-ukuran.
