mikroelektronika

Postopek litografije

Z zahtevo po izboljšanju širine linije za obdelavo postaja čisti nadzor nad izdelkom vse strožji. Zahteva po padavinah, onesnaževalcih in kovinskih ionih, postavlja višje zahteve za proizvodnjo filtrskega elementa.Nekakšna filtracija v kombinaciji s prakso zagotavlja izdelke visoke čistosti za nadgradnjo procesa in zagotavlja kakovost izdelkov