Sistem obrata mora zagotavljati stabilno oskrbo s čistimi kemikalijami, izjemno čisto vodo in čistimi procesnimi plini v celotnem FAB.To postavlja visoke zahteve glede stabilnosti in doslednosti filtrskega elementa, uporabljenega v vsakem odseku.Nekakšen filtrirni element z velikim pretokom Hangzhou, varnostni filtrirni element, visoko natančni zložljivi filtrski elementi in serije perfluoriranih filtrirnih elementov zagotavljajo stabilno storitev filtracije za sistem upravljanja tovarne
