V procese CMP by sa produkty s veľkým rozsahom veľkosti častíc mali filtrovať, účinné častice by sa mali ponechať na mletie a veľké častice, ktoré by mohli zachytiť povrch, by sa mali odstrániť.Vzhľadom na prísny výkon filtračného jadra na zachytávanie častíc by sa malo uvoľniť toľko účinných častíc, aby bolo možné efektívne zachytiť častice veľkej veľkosti.
