В процессе CMP продукты с большим диапазоном размеров частиц должны быть отфильтрованы, эффективные частицы должны быть сохранены для измельчения, а частицы большого размера, которые могут поцарапать поверхность, должны быть удалены.Ввиду строгих характеристик перехвата частиц фильтрующим сердечником, должно быть высвобождено как можно больше отражающих частиц, чтобы эффективно перехватывать частицы большого размера.
