În procesul CMP, produsele cu o gamă mare de dimensiuni ale particulelor trebuie filtrate, particulele eficiente trebuie reținute pentru măcinare și particulele de dimensiuni mari care pot împrăștia suprafața trebuie îndepărtate.Având în vedere performanța strictă de interceptare a particulelor a miezului de filtrare, ar trebui eliberate cât mai multe particule eficiente pentru a intercepta eficient particulele de dimensiuni mari.
