No processo CMP, produtos com grande faixa de tamanho de partícula devem ser filtrados, partículas efetivas devem ser retidas para moagem e partículas de tamanho grande que podem manchar a superfície devem ser removidas.Em vista do estrito desempenho de interceptação de partículas do núcleo mais fino, tantas partículas efetivas devem ser liberadas quanto possível para interceptar com eficiência partículas de tamanho grande.
