W procesie CMP należy odfiltrować produkty o dużym zakresie uziarnienia, zatrzymać cząstki skuteczne do rozdrabniania oraz usunąć cząstki o dużych uziarnieniach, które mogą zabrudzić powierzchnię.Ze względu na ścisłą wydajność przechwytywania cząstek przez dopasowany rdzeń, należy uwolnić jak najwięcej skutecznych cząstek, aby skutecznie przechwycić cząstki o dużych rozmiarach.
