mikroelektronikk

Litografiprosess

Med foredlingskravet til prosesslinjebredden blir den rene kontrollen av produktet strengere og strengere. Utfellingsbehovet for forurensninger og metallioner stiller høyere krav til produksjonen av filterelementet.Litt filtrering kombineres med praksis for å gi høy renhet som forutsier prosessoppgradering og sikrer produktkvalitet