Anleggssystemet må gi en stabil tilførsel av rene kjemikalier, ultrarent vann og rene prosessgasser i hele FAB.Dette stiller høye krav til stabiliteten og konsistensen til filterelementet som brukes i hver seksjon.Hangzhou ganske stort strømningsfilterelement, sikkerhetsfilterelement, foldefilterelementer med høy presisjon og perfluorerte filterelementserier gir stabil filtreringstjeneste for fabrikkstyringssystem
