I CMP-prosessen bør produkter med store partikkelstørrelser filtreres, effektive partikler bør beholdes for sliping og store partikler som kan ripe opp overflaten bør fjernes.I lys av den strenge partikkelavskjæringsytelsen til fiterkjernen, bør så mange effektive partikler frigjøres som mulig for å avskjære store partikler.
