Fil-proċess CMP, prodotti b'firxa ta 'daqs kbir ta' partiċelli għandhom jiġu ffiltrati, partiċelli efiective għandhom jinżammu għat-tħin u partiċelli ta 'daqs iarge li jistgħu scatchthe wiċċ għandhom jitneħħew.Fid-dawl tal-prestazzjoni stretta tal-interċettazzjoni tal-partiċelli tal-qalba tal-fiter, għandhom jiġu rilaxxati kemm jista 'jkun ħafna partiċelli effettivi biex jinterċettaw b'mod elijenti partiċelli ta' daqs kbir.
