Sistem loji perlu menyediakan bekalan bahan kimia bersih, air ultratulen dan gas proses bersih yang stabil di seluruh FAB.Ini mengemukakan keperluan tinggi untuk kestabilan dan ketekalan unsur penapis yang digunakan dalam setiap bahagian.Elemen penapis aliran Hangzhou agak besar, elemen penapis keselamatan, elemen penapis lipatan berketepatan tinggi dan siri elemen penapis perfluorinasi menyediakan perkhidmatan penapisan yang stabil untuk sistem pengurusan kilang
