mikroelektronik

Penapis CMP

Dalam proses CMP, produk dengan julat saiz zarah yang besar harus ditapis, zarah berkesan harus dikekalkan untuk pengisaran dan zarah bersaiz besar yang boleh mencalarkan permukaan harus dikeluarkan.Memandangkan prestasi pemintasan zarah yang ketat bagi teras penyambung, seberapa banyak zarah eflektif harus dilepaskan seboleh mungkin untuk memintas zarah bersaiz besar dengan cekap.