CMP процессын хувьд том ширхэгийн хэмжээтэй бүтээгдэхүүнийг шүүж, үр дүнтэй тоосонцорыг нунтаглахад хадгалж, гадаргууг зурж болох том хэмжээтэй тоосонцорыг зайлуулна.Цөмийн бөөмсийг таслан зогсоох хатуу гүйцэтгэлийг харгалзан үзэхэд том хэмжээтэй бөөмсийг таслахын тулд олон цацруулагч хэсгүүд ялгарах ёстой.
