CMP പ്രക്രിയയിൽ, വലിയ കണിക വലുപ്പമുള്ള ഉൽപ്പന്നങ്ങൾ ഫിൽട്ടർ ചെയ്യണം, പൊടിക്കുന്നതിന് ഫലപ്രദമായ കണങ്ങൾ നിലനിർത്തണം, ഉപരിതലത്തിൽ സ്ക്രാച്ച് ചെയ്തേക്കാവുന്ന വലിയ വലിപ്പമുള്ള കണങ്ങൾ നീക്കം ചെയ്യണം.ഫിറ്റർ കോറിന്റെ കർശനമായ കണികാ ഇന്റർസെപ്ഷൻ പ്രകടനത്തിന്റെ വീക്ഷണത്തിൽ, വലിയ വലിപ്പത്തിലുള്ള കണങ്ങളെ എലിസിറ്റിക്ക് തടസ്സപ്പെടുത്താൻ കഴിയുന്നത്ര ഫലപ്രദമായ കണങ്ങൾ പുറത്തുവിടണം.
