CMP procese produktai, kurių dalelių dydis yra didelis, turi būti filtruojami, veiksmingos dalelės turi būti laikomos šlifavimui, o didelio dydžio dalelės, kurios gali subraižyti paviršių, turi būti pašalintos.Atsižvelgiant į griežtą tinkančios šerdies dalelių perėmimo veiksmingumą, turėtų būti išleista kuo daugiau skleidžiančių dalelių, kad būtų galima sulaikyti didelio dydžio daleles.
