Am CMP-Prozess solle Produkter mat enger grousser Partikelgréisst gefiltert ginn, effikass Partikele solle fir d'Schleifen behalen ginn an d'groussgréisst Partikelen, déi d'Uewerfläch zerstéieren kënnen, solle geläscht ginn.Am Hibléck vun der strikt Partikel Offangen Leeschtung vun der fiter Kär, sou vill eflective Partikel soll fräigesat ginn als méiglech fir elicient Offangen grouss-Gréisst Partikel.
