In processu CMP, producta cum magnae molis magnitudine percolantur, retinenda sunt particulae efficaces ad stridorem et iargorum magnitudinem particulas quae superficiem removeri possunt.In intuitu strictae interceptionis particulae fitoris nuclei, quotquot particulae eflectivae emissi sunt, quam possibilis ad elicientem particulas magnas amplitudinis intercipiunt.
