микроэлектроника

CMP чыпкасы

CMP процессинде бөлүкчөлөрүнүн чоң диапазону бар продукциялар чыпкаланышы керек, эффективдүү бөлүкчөлөр майдалоо үчүн сакталышы керек жана бетти сызып ташташы мүмкүн болгон чоң өлчөмдөгү бөлүкчөлөр жок кылынышы керек.Фитер өзөктүн катуу бөлүкчөлөрдү кармап туруу жөндөмдүүлүгүн эске алуу менен, чоң өлчөмдөгү бөлүкчөлөрдү кармап калуу үчүн көптөгөн эффективдүү бөлүкчөлөр бошотулушу керек.