CMP процесінде бөлшектердің өлшемі ауқымы үлкен өнімдер сүзгіден өтуі керек, ұнтақтау үшін тиімді бөлшектер сақталуы керек және бетін сызып тастауы мүмкін үлкен өлшемді бөлшектер жойылуы керек.Кіші ядроның бөлшектерді ұстап тұрудың қатаң өнімділігін ескере отырып, үлкен өлшемді бөлшектерді ұстап тұру үшін көптеген эффективті бөлшектер шығарылуы керек.
