CMP-ის პროცესში, ნაწილაკების დიდი დიაპაზონის მქონე პროდუქტები უნდა იყოს გაფილტრული, ეფექტური ნაწილაკები უნდა იყოს შენახული დაფქვისთვის და დიდი ზომის ნაწილაკები, რომლებმაც შეიძლება დაამტვრიონ ზედაპირი, უნდა მოიხსნას.მორგებული ბირთვის მკაცრი ნაწილაკების დაჭერის შესრულების თვალსაზრისით, რაც შეიძლება მეტი მოქმედი ნაწილაკი უნდა გამოთავისუფლდეს დიდი ზომის ნაწილაკების ელასტიურობის შესაჩერებლად.
