CMP フィルター

CMPプロセスでは、粒子サイズの範囲が広い製品をろ過し、有効な粒子を保持して研削し、表面を傷つける可能性のある大きなサイズの粒子を除去する必要があります。フィターコアの厳密な粒子遮断性能を考慮すると、大きなサイズの粒子を効率的に遮断するには、できるだけ多くの反射粒子を放出する必要があります。