Nel processo CMP, i prodotti con un'ampia gamma di dimensioni delle particelle dovrebbero essere filtrati, le particelle efficaci dovrebbero essere trattenute per la macinazione e le particelle di grandi dimensioni che potrebbero graffiare la superficie dovrebbero essere rimosse.In vista della rigorosa prestazione di intercettazione delle particelle del nucleo fiter, dovrebbero essere rilasciate quante più particelle eflettenti possibile per intercettare con efficienza particelle di grandi dimensioni.
