Dalam proses CMP, produk dengan kisaran ukuran partikel yang besar harus disaring, partikel yang efektif harus dipertahankan untuk digiling dan partikel berukuran besar yang dapat mencerai-beraikan permukaan harus dihilangkan.Mengingat kinerja pencegatan partikel yang ketat dari inti yang lebih fit, sebanyak mungkin partikel efektif harus dilepaskan untuk mencegat partikel berukuran besar secara efisien.
