Կայանի համակարգը պետք է ապահովի մաքուր քիմիական նյութերի, գերմաքուր ջրի և մաքուր գործընթացային գազերի կայուն մատակարարում FAB-ում:Սա առաջ է քաշում բարձր պահանջներ յուրաքանչյուր բաժնում օգտագործվող ֆիլտրի տարրի կայունության և հետևողականության համար:Hangzhou-ի մի տեսակ մեծ հոսքի ֆիլտրի տարրը, անվտանգության ֆիլտրի տարրը, բարձր ճշգրտության ծալովի ֆիլտրի տարրը և պերֆտորացված ֆիլտրի տարրերի շարքը ապահովում են կայուն ֆիլտրման ծառայություն գործարանի կառավարման համակարգի համար
