CMP գործընթացում մասնիկների մեծ տիրույթ ունեցող արտադրանքները պետք է զտվեն, արդյունավետ մասնիկները պետք է պահպանվեն մանրացման համար, իսկ փոքր չափի մասնիկները, որոնք կարող են քերծել մակերեսը, պետք է հեռացվեն:Ի նկատի ունենալով ֆիտեր միջուկի մասնիկների խզման խիստ կատարումը, որքան հնարավոր է շատ էֆեկտիվ մասնիկներ պետք է թողարկվեն մեծ չափի մասնիկներին արագորեն ընդհատելու համար:
