A CMP-eljárás során a nagy részecskeméret-tartományú termékeket szűrni kell, a hatékony részecskéket meg kell tartani a csiszoláshoz, és el kell távolítani a nagy méretű részecskéket, amelyek megkarcolhatják a felületet.Az illeszkedő mag szigorú részecske-elfogási teljesítményére tekintettel annyi eflektív részecskét kell felszabadítani, amennyit csak lehet, hogy elfoghassuk a nagy méretű részecskéket.
