प्लांट सिस्टम को पूरे FAB में स्वच्छ रसायनों, अल्ट्राप्योर पानी और स्वच्छ प्रक्रिया गैसों की स्थिर आपूर्ति प्रदान करने की आवश्यकता है।यह प्रत्येक अनुभाग में उपयोग किए जाने वाले फ़िल्टर तत्व की स्थिरता और स्थिरता के लिए उच्च आवश्यकताओं को सामने रखता है।हांग्जो थोड़े बड़े प्रवाह फिल्टर तत्व, सुरक्षा फिल्टर तत्व, उच्च परिशुद्धता फोल्डिंग फिल्टरलेमेनल और परफ्लुओरिनेटेड फिल्टर तत्व श्रृंखला कारखाने प्रबंधन प्रणाली के लिए स्थिर निस्पंदन सेवा प्रदान करते हैं
