CMP પ્રક્રિયામાં, મોટા કણોના કદની શ્રેણી સાથેના ઉત્પાદનોને ફિલ્ટર કરવા જોઈએ, અસરકારક કણોને પીસવા માટે જાળવી રાખવા જોઈએ અને સપાટીને ખંજવાળ કરી શકે તેવા આર્જ-સાઈઝના કણોને દૂર કરવા જોઈએ.ફિટર કોરના કડક પાર્ટિકલ ઈન્ટરસેપ્શન પરફોર્મન્સને ધ્યાનમાં રાખીને, મોટા કદના કણોને યોગ્ય રીતે અટકાવી શકાય તેટલા અસરકારક કણોને છોડવા જોઈએ.
