No proceso CMP, os produtos con gran tamaño de partícula deben ser filtrados, as partículas eficaces deben ser conservadas para moer e as partículas de gran tamaño que poden escapar na superficie deben ser eliminadas.Tendo en conta o estrito rendemento de interceptación de partículas do núcleo do filtro, deberían liberarse tantas partículas reflectivas como sexa posible para interceptar as partículas de gran tamaño.
