Le système de l'usine doit fournir un approvisionnement stable en produits chimiques propres, en eau ultrapure et en gaz de procédé propres dans l'ensemble du FAB.Cela met en avant des exigences élevées en matière de stabilité et de cohérence de l'élément filtrant utilisé dans chaque section.L'élément filtrant à grand débit de Hangzhou, l'élément filtrant de sécurité, l'élément filtrant pliant de haute précision et la série d'éléments filtrants perfluorés fournissent un service de filtration stable pour le système de gestion d'usine
