Dans le procédé CMP, les produits à large gamme de tailles de particules doivent être filtrés, les particules efficaces doivent être conservées pour le broyage et les particules de grande taille qui peuvent rayer la surface doivent être éliminées.Compte tenu des performances strictes d'interception des particules du noyau filtrant, autant de particules efficaces doivent être libérées que possible pour intercepter efficacement les particules de grande taille.
