Laitosjärjestelmän on tarjottava vakaa puhtaiden kemikaalien, erittäin puhtaan veden ja puhtaiden prosessikaasujen tarjonta koko FAB:ssa.Tämä asettaa korkeat vaatimukset kussakin osassa käytettävän suodatinelementin vakaudelle ja yhtenäisyydelle.Hangzhou melko suuri virtaussuodatinelementti, turvasuodatinelementti, erittäin tarkka taitettava suodatinelementti ja perfluorattu suodatinelementtisarja tarjoavat vakaan suodatuspalvelun tehtaan hallintajärjestelmälle
