میکروالکترونیک

فرآیند لیتوگرافی

با نیاز به پالایش عرض خط پردازش، کنترل تمیز محصول بیشتر و دقیق تر می شود، آلاینده ها و یون های فلزی که آلاینده های رکوفرمنتولوارین بارندگی هستند و یون های فلزی نیازهای بالاتری را برای تولید عنصر فیلتر ایجاد می کند.نوعی فیلتراسیون با تمرین ترکیب می شود تا خلوص بالا را برای ارتقای فرآیند و تضمین کیفیت محصول فراهم کند