در فرآیند CMP، محصولات با محدوده اندازه ذرات بزرگ باید فیلتر شوند، ذرات موثر باید برای آسیاب نگه داشته شوند و ذرات با اندازه بزرگ که ممکن است سطح را خراش دهند باید حذف شوند.با توجه به عملکرد دقیق رهگیری ذرات هسته فیتر، باید تا حد امکان ذرات مؤثر آزاد شوند تا ذرات با اندازه بزرگ را رهگیری کنند.
