En el proceso CMP, los productos con un gran rango de tamaño de partículas deben filtrarse, las partículas efectivas deben retenerse para moler y las partículas de gran tamaño que pueden salpicar la superficie deben eliminarse.En vista del estricto rendimiento de interceptación de partículas del núcleo de filtro, se deben liberar tantas partículas efectivas como sea posible para interceptar con eficacia partículas de gran tamaño.
