En la CMP-procezo, produktoj kun granda partiklogranda gamo devus esti filtritaj, efikaj partikloj devus esti retenitaj por muelado kaj grandgrandaj partikloj kiuj povas disĵeti la surfacon devus esti forigitaj.Konsiderante la striktan interkaptan agadon de partikla kerno, tiom da efektaj partikloj devas esti liberigitaj kiel eble por efike interkapti grandgrandajn partiklojn.
