Το σύστημα εγκατάστασης πρέπει να παρέχει σταθερή παροχή καθαρών χημικών ουσιών, υπερκαθαρού νερού και καθαρών αερίων διεργασίας σε όλο το FAB.Αυτό θέτει υψηλές απαιτήσεις για τη σταθερότητα και τη συνέπεια του στοιχείου φίλτρου που χρησιμοποιείται σε κάθε τμήμα.Το στοιχείο φίλτρου μεγάλης ροής Hangzhou, το στοιχείο φίλτρου ασφαλείας, το πτυσσόμενο φίλτρο υψηλής ακρίβειας και η σειρά στοιχείων υπερφθοριούχου φίλτρου παρέχουν σταθερή υπηρεσία φιλτραρίσματος για το σύστημα διαχείρισης εργοστασίων
